一、潔凈形式
1、潔凈室按工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等；
2、潔凈室按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。
3、電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度要求嚴格時，宜采用微環境型式。
二、潔凈廠房防火設計要求
1、電子潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。
2、電子潔凈廠房潔凈區各層專用消防口的設計，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073 的有關規定。
三、潔凈廠房環境參數控制要求
微粒、對產品質量有害的雜質、溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等。
四、潔凈廠房空氣吹淋室的設計要求（人員凈化）
1、在潔凈室（區）的入口處宜設空氣吹淋室，當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室；
2、吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位；
3、單人空氣吹淋室，應按最大班人數每 30 人設—臺。潔凈室（區）工作人員超過5 人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；
4、空氣吹淋室的進、出 門不得同時開啟，要采取連鎖控制措施；
5、空氣潔凈度等級為 5 級或嚴于 5 級的垂直單向流潔凈室（區），宜設氣閘室；
6、潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室（區）的空氣潔凈度等級。
五、潔凈廠房靜壓差設計要求
1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于 5Pa；
2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于 5Pa；
3、潔凈室與室外的靜壓差應大于 10Pa。
六、各行業的潔凈度等級
